PIP-12
12寸探针台

■ Model：PIP-12
■ Test type：I-V/C-V test、RF test
■ 12寸chuck，平整度: 5µm, 标准卡盘可360度无间隙旋转，微调±5°
■ Chuck采用Air-bearing stage技术，可快速拖移气浮底座，XY行程：305x305mm，，并带自动锁死装置
■ 显微镜在 X-Y 平面2" x 2" 范围内移动,精度1μm
■ 显微镜气动升降50mm便于更换物镜
■ Plant快速升降行程10mm，上下微调行程30mm，升降精度1um，赠送数显百分表便于监控
■ 选配加装Probe card,增大型U型台面，可以同时容纳12个探针座

PIP-8A
气浮型8寸探针台

■ Model：PIP-8A
■ 8" chuck，平整度: 5µm, 标准卡盘可360度无间隙旋转，微调±5°
■ 可快速拖移气浮底座，Chuck X Y行程：200x200mm,并带自动锁死装置
■ 显微镜在 X-Y 平面2" x 2" 范围内移动,精度1μm
■ 显微镜气动升降50mm便于更换物镜
■ Plant快速升降行程10mm，上下微调行程30-50mm，升降精度1um，赠送数显百分表便于监控
■ 选配加装Probe card，增大型U型台面，可以同时容纳8个探针座

PIP-6A
小型6寸探针台气浮型

■ Model：PIP-6A
■ 载物台直径≥155 mm，平坦度≤±5um
■ 载物台整体采用气浮移动方式，快速移动范围＞178 x 228mm，可单手控制快速自由移动，包含锁定保护装置；载物台同时包含千分尺精细调节方式，调节范围＞25mm x25mm ，XY方向移动分辨率2μm。载物台旋转范围≥± 5.0°
■ 探针台平台可实现：0（扎针）、300μm（分离）、3mm（架针）三档驻停操作
■ 探针台平台可同时容纳8路直流针座或4路射频针座
■ 探针台平台可实现Z方向调节，调节范围＞19mm, 重复精度< 1 μm

PIP-4
4寸探针台

■ Model：PIP-4
■ Test type：I-V/C-V test、RF test
■ chuck XY的移动范围 100x100mm，移动精度：10微米
■ 4" 卡盘，采用中心吸附孔和3圈吸附环固定样品
■ chuck可以 360 度旋转，可以选配增加XYZR axis功能
■ 卡盘旋转微调±15°，调节精度0.01°
■ 显微镜环绕立柱旋转式设计，便于快速移动显微镜
■ U 型针座平台，更大针座加载空间（一般最多可以放置6个）

IV Master
IV Curve测试系统

■ 可视化操作，简单易用
■ 图形化界面配置不同电源的电压、限流、电流、限压、延时、采样次数等各种参数
■ 支持多电源同步上电
■ 实时记录和叠加图形化显示多次的IV测试数据等多种功能

MP-01
探针底座

■ 重量:175 克左右
■ 尺寸: 64mm长*47mm宽*55mm高
■ X/Y/Z行程：12mm x 12mm x 12mm
■ 分辨率：5μm
■ 80牙/英寸
■ 磁铁吸附/真空带开关底座
■ 适用4”探针台

MP-06
探针底座

■ X/Y/Z行程：12.5mm x 12.5mm x 12.5mm
■ 分辨率：0.7μm
■ 100牙/英寸
■ Micrometer:0.25mm/rev
■ 磁铁/真空吸附带开关底座
■ 适用6”、8”、12”探针台

MP-10
探针底座

■ X/Y/Z行程：12.5mm x 12.5mm x 12.5mm
■ 分辨率：0.35μm
■ Micrometer：0.125mm/rev
■ Application ：IV/CV coaxial or ultra-low current triaxial measurements
■ 磁铁/真空吸附带开关底座
■ 适用6”、8”、12”探针台

MP-10 with RF ARM
探针底座

■ X/Y/Z行程：12.5mm x 12.5mm x 12.5mm
■ 分辨率：0.35μm
■ Micrometer：0.125mm/rev
■ Application ：IV/CV coaxial or ultra-low current triaxial measurements
■ 磁铁/真空吸附带开关底座
■ 适用6”、8”、12”探针台

Motic PSM 1000
金相显微镜

■ 变焦 1X~2X
■ 目镜: 10X
■ 0.5倍C Mount
■ 物镜5/10/20/50x

GX-6
长工作距离金相显微镜

■ 目镜: 10倍
■ 0.5倍C Mount
■ 物镜2/5/10/20/50x
■ 冷光源光纤反射照明器:12V/150W

SMZ-168
体视显微镜

■ 目镜倍率：20倍
■ 物镜变焦倍率:0.8~5倍
■ 总的放大倍率:16~100倍
■ CCD接口, Led光源

FS70-L
金相显微镜

■ 连续变倍焦 1X
■ Lasercut接口, CCD 接口
■ 目镜: 10X/24, 0.5倍C-Mount
■ 物镜2/5/10/20/50/100x
■ 可配近紫外物镜，近红外物镜

光学减震平台

■ 外形尺寸：L1200mm×W800mm×H700mm
■ 负载：400kg 左右
■ 固有频率：3Hz（水平）3.5Hz(垂直)
■ 台面材料：不锈钢SUS430，台面布M6螺孔阵距25mm×25mm
■ 台面平整度：≤0.05mm/m2，表面光洁度1.5um
■ 自重：190kg 左右
■ 隔震方式：空气弹簧隔离器,隔振性能与空气弹簧的形状、材质，弹簧室的容积与补助罐容积、阻尼孔径、以及水平调节阀，有着相互关系
■ 自动调水平：水平自动调节系统,为了平台上搭载的光学仪器移动或施加重心负荷时也能够始终保持平台的水平，安装有三个水平自动调节阀
■ 含无油空压机一台

屏蔽箱

■ 外形尺寸：L1350*W900*H1250
■ 有效屏蔽信号干扰和漏电，提升测试精度
■ 高压，大电流测试时有效保护操作人员安全
■ 防止外界光干扰
■ 尺寸可根据客户定制

Triaxial probe
三同轴针杆

■ tip holder，Tubular type
■ includes a triaxial cable with a triaxial connector male
■ cable length is 2.1M
■ measure the current level less than 100fA with shielding environment
■ Max voltage.：500V

Coaxial tip holder

■ includes a triaxial cable with a triaxial connector male
■ cable length is 1.5M or 3M
■ measure the current level less than 10pA with shielding environment
■ Max voltage.：500V

Keithley三同轴高压针杆

■ High Voltage Triaxial Cable
■ 1.5米线缆，线缆接头为 HV Triaxial male的SHV接口
■ 3KV Voltage Capability

KEYSIGHT三同轴高压针杆

■ HVT-3K-1.5M keysight B1505A
■ PROBE ARM / HV TRIAX / KEYSIGHT MALE / DARKBOX
■ High voltage triaxial probe with Keysight HV Triax connection
■ For GPI high power system with DarkBox
■ 3 kV (max)
■ Keysight HV male connector end
■ Positioner coGPatibility: GF-60、GF10

Probe ARM coaxial

光纤定制夹具

真空泵

Analysis LC29R
热点侦测液

美国GGB探针

■ 钨针 - 软针、硬针
■ 直径:0.2μm、1μm、2μm、5μm, 10μm, 20μm
■ 长度:51mm，镀层:Nikel
■ 材质：Tungsten Probe Tips

Keivin探针

■ 应用:超低漏电流I-V测试，精密C-V测试、LCR测试
■ 漏电流:<10fA
■ 电缆:须另行采购， CA-SSMC-TRIAX-FTM or  CA-SSMC-BNC-FTM
■ 接头:SSMC, Male, gold plated
■ 破坏电压:500V
■ 适配器:须另行采购

转接头

■ 三轴母转三轴母转接头 BJ73(Triaxial(母) to Triaxial(母) )
■ 三轴二转接头（母转母） BJ74(Triaxial(母) to Triaxial(母) )
 ● 阻抗：50Ω
 ● 最高电流：10A
 ● 最高频率:500 MHZ
 ● 最大电压：100V
 ● 最小漏电流：100fA